环境对高真空镀膜设备的重要性

2023/06/03

由于高真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。

　　我国制定的各类真空镀膜设备的行业标准(包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备)都对环境要求作了明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使该设备正常运转，加上正确的镀膜工艺，方能生产出合格的镀膜产品。

　　真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面的要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用，而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。

　　如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，真空室没有经过清洗的情况下，用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度是很难的。众周知，油封式机械泵不适宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油起化学反应的以及含有颗粒尘城的气体。水蒸气为可凝性气体，当泵大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气性能。

　　真空镀膜设备正常工作条件是：

　　① 环境温度10~30℃;

　　② 相对湿度不大于70%;

　　③ 冷却水进水温度不高于 25℃;

　　④ 冷却水质 城市自来水或质量相当的水;

　　⑤供电电压:380V，三相50Hz或220V，单相50Hz(由所用电器需要而定)，电压波动范围 342~399V或198~231V，频率波动范围49~51Hz;

　　⑥压力、温度、消耗量均应在产品使用说说明书的写明;

　　⑦ 设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

　　此外，真空镀膜设备所在的实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口。面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法，将气体排出室外。